本文為日本オプトソルテック株式會社技術部撰寫的一篇文章，介紹了光學薄膜材料中特別是TiO 2薄膜的機械特性。從作者制作的蒸著膜的結果，以及搜集整理的研究者們根據各種成膜方法制作的薄膜的機械特性報告數據，確認了應力，硬度，彈性率、附著力等機械特性，通過因成膜方法和成膜條件等不同而變化的薄膜的密度和結晶性，而相互影響。另外，因為這些特性也關系到光學特性，所以在探索符合機械特性薄膜的制作方法和滿足條件的同時，還必須兼顧考慮光學特性。另外，因兼顧光學特性會導致在材料的選擇上范圍變窄，但通過對材料的種類或狀態的選擇，來控制薄膜的機械特性也是可能的。
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